5月19日,长江存储终于盼来了自己的首台光刻机。当天中午,这台价值7200万美元、比黄金还金贵的设备,运抵了武汉天河机场。这台来自全球最大的芯片设备制造商——荷兰阿斯麦公司(ASML)的大家伙的到来,被外界看做中国芯片技术的重要突破。
好消息不止一个。就在几天前,据《日经亚洲评论》15日援引消息人士的话称,中国芯片加工企业中芯国际(SMIC)也与同一家企业——荷兰阿斯麦公司订购了其首台最先进的EUV(极紫外线)光刻机,价值1.2亿美元。
长江存储首台光刻机运抵武汉天河机场。
消息称,这台几乎相当于中芯国际去年全部净利润的设备,将于2019年初交付。
光刻机为何物?为何如此金贵?
香港《明报》5月22日报道称,光刻机(又称曝光机)是生产大规模集成电路的核心设备,其作用是扫描曝光芯片晶圆,刻蚀集成电路。制造和维护需要高度的光学和电子工业基础,世界上只有少数厂家掌握。
因此光刻机的价格昂贵,通常在3000万至5亿美元不等。目前,虽然尼康、佳能等对手都在勉力竞争,但是自飞利浦独立的阿斯麦公司掌握了90%以上的高端光刻机市场份额。精度愈高的光刻机,能生产出纳米尺寸愈小、功能更强大的芯片。
世界最新最先进的两代高端光刻机领域,即浸入式(Immersion)和极紫外线式(EUV)光刻机,全部由阿斯麦掌握核心技术。
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