由于《瓦森纳规定》的存在,阿斯麦公司接连对中国企业接单,引发一些质疑。《瓦森纳协定》又称瓦森纳安排机制,全称为《关于常规武器和两用物品及技术出口控制的瓦森纳协定》,目前共有包括美国、日本、英国、俄罗斯等42个成员。
尽管“瓦森纳安排”规定成员国自行决定是否发放敏感产品和技术的出口许可证,并在自愿基础上向“瓦森纳安排”其他成员通报有关信息。但“安排”实际上完全受美国控制。而中国、朝鲜、伊朗、利比亚等国均在被限制国家名单之中。
当“瓦森纳安排”某一国家拟向中国出口某项高科技技术时,美国甚至直接出面干涉,如捷克拟向中国出口“无源雷达设备”时,美便向捷克施加压力,迫使捷克停止这项交易。
此前曾有一种说法,认为最高端的光刻机技术受到《瓦森纳协定》影响,被禁止向中国大陆出售。然而,阿斯麦公司发言人则对《日经亚洲评论》表示,该企业对包括中国客户在内的全球客户都一视同仁。而且,向中国出售EUV光刻机并没有违反《瓦森纳协定》。
事实上,从中芯国际的官网可以了解到,中芯国际早在2014年10月27日,已经与阿麦斯公司签订过一份光刻设备批量购买协议。这份批量购买订单价值近4.5亿欧元。
阿斯麦总裁兼CEO彼得·温尼克(Peter Wennink)在当时就表示:中国对我们来说,是很重要的市场。通过这个协议,我们希望能在中国客户中增加市场份额,占稳一席之地。
2017年10月,阿斯麦中国区总裁金泳璇在接受台湾《电子时报》的采访时也表示,阿斯麦对大陆芯片厂与国际客户一视同仁,只要客户下单,EUV要进口到中国完全没有任何问题。
在交期方面,所有客户也都完全一致,从下单到正式交货,均为21个月。金泳璇当时就曾透露,目前已有大陆芯片厂巨头与阿斯麦展开7纳米工艺制程的EUV订单洽谈,2019年大陆首台EUV可望落地。而这对中国芯片厂来说无疑是一个好消息。
台湾“中央社”称,从2019年半导体芯片将进入7纳米时代开始(现在处于10纳米时代),EUV光刻机可以被称为战略性设备,没有它就会使芯片制造寸步难行。
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